人民網西安1月12日電（李志強）1月12日，陝西光電子先導院先進光子器件創新平台舉行了核心設備搬入儀式。作為陝西省2022年重點建設工程，先進光子器件工程創新平台依托“追光計劃”頂層設計，聚焦光子制造、光子芯片、光子傳感三大重點領域，形成了光子產業發展的陝西模式。

技術人員介紹平台概況。先進光子器件工程創新平台供圖

先進光子器件工程創新平台佔地30畝，建設中試車間、中試大樓、綜合樓和動力站等研發中試配套設施，總建筑面積約3萬平方米，潔淨廠房3000平方米，一期專業設備86余台（套），具備以GaAs、GaN為主線，圍繞6英寸化合物芯片工藝服務能力的柔性中試平台，可為光子產業孵化項目提供產品研發、中試、檢測等全流程技術服務。

平台將技術服務模式（20%）+工程代工模式（80%）的結合，為光子產業各類創新主體，打通從產品研發到市場化批量供貨的完整鏈條，解決當前行業中小型創新企業流片困難的問題。通過與創新企業持續進行聯合研發，光子芯片制程中的光刻、刻蝕、蒸鍍等多項核心工藝技術不斷攻克，平台軟硬件建設不斷完善，未來平台將持續助力光子產業鏈上下游企業聚集。

濕法設備。先進光子器件工程創新平台供圖

同時，先進光子器件工程創新平台將有效解決第三代化合物半導體芯片卡脖子環節中的外延生長與制程問題，為客戶提供芯片制造環節中的全流程服務（如外延生長、光刻、刻蝕、薄膜制備、清洗、減薄、拋光、劃片等）。其客戶主要集中在光電芯片、功率器件、射頻器件等芯片設計企業、高校、科研院所等。

據了解，該平台建成后將吸引更多光子產業創新要素匯聚陝西，為國家攻關一批解決“卡脖子”並引領未來的關鍵核心技術，培育一批具有先發優勢和全球競爭力的光子產業冠軍企業，推動光子產業集群化、規模化、高產值化發展。

分享讓更多人看到